- 产品描述
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用于洁净室环境下电子半导体产品的干燥、固化工艺。专为绝压产品在真空条件下温度干燥,为热敏性、易分解和易氧化物质而设计,特别是一些成分、结构复杂的不易在常压干燥的物品也能在真空环境下的烘干,可为相应的电子、半导体、机械零部件以及橡胶塑料产品等提供真空环境,是生产过程中用于树脂类产品脱泡的设备。
型号(示例)
ILPT91+200A/WJ
ILPT216+200A/WJ
主
要
参
数
冷却方式
风冷A
水冷W
风冷A
水冷W
容积(升)
91L
216L
温度范围
RT+20℃~+200℃RT+20℃~+300℃空载升温时间
RT~+200℃≤60min
RT~+200℃≤60min
空载降温时间
风冷:+175°℃~+90℃≤35min
风冷:+175℃~+90℃≤35min水冷:+175℃~+90℃≤28min
水冷: +175℃~+90℃≤28min真空范围
101~0.1kPa(760~1Torr)
最低氧气浓度
≤20ppm
洁净度
1000/100级(温度稳定时)
内箱尺寸(mm)
W450*H450*D450mm
W600*H600*D600mm外箱尺寸(mm)
W670*H1525*D670mm
W820*H1675*D820mm重量
280KG
380KG温度波动度
≤±0.3℃
≤±0.3℃氮气通入
2路
2路真空压力表
指针式波登管式压力表-0.1~0MPa
真空泵
进口干式真空泵
进气过滤器
1000/100级管路式高效过滤器
控
制
系
统
显示尺寸
触屏式温控器
程序
120个程序,每个程序99段;固化程序20个
集中监控(选购)
支持,RS485/RJ45网络接口通讯
附属功能
故障报警及原因、处理提示功能、断电保护功能、上下限温度保护功能、定时功能(自动启动及自动停止运行)、自诊断功能。
USB功能
有
结
构
外壳
冷轧钢板烤漆
内箱
不锈钢SUS304
隔热
硅酸铝棉填充
承压方式
内箱承压
排气口
NW25法兰
NW25法兰
配电功率
RT~+200℃:3N 380V 2.5KW
RT~+200℃:3N 380V 3.5KW冷却循环水
1t/h
2t/h选购功能
多点温度监控,尺寸定制,真空泵
关键词:
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