洁净烘箱

ETV J系列

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产业设备

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产品描述

用于喷溅装置、CVD装置、蚀刻装置、黄光装置、TFT & PDP等装置上的保护用部品、内部治具的膜除去之后的清洗表面进行水分干燥。

型号(示例)		ETV91-200B/TJ		ETV216-200B/TJ		ETV91-512B/TJ		ETV1000-200B/TJ
主要参数	配置系列	B系列	T系列	B系列	T系列	B系列	T系列	B系列	T系列
	容积(升)	91L		216L		512L		1000L
	温度范围	RT+20℃~+200℃ RT+20℃~+300℃
	空载升温时间	RT~+200℃≤45min RT~+300℃≤45min		RT~+200℃≤45min RT~+300℃≤45min		RT~+200℃≤60min RT~+300℃≤60min		RT~+200℃≤60min RT~+300℃≤60min
	内箱尺寸(mm)	W450H450D450mm		W600H600D600mm		W800H800D800mm		W1000H1000D1000mm
	外箱尺寸(mm)	W1100H960D700mm		W1250H1100D900mm		W15001300D1100mm		W1750H1600D1300mm
	重量	290kg		350KG		400kg		550kg
	温度波动度温度偏差	≤±0.3℃		≤±0.3℃		≤±0.3℃		≤±0.3℃
		≤±2.0%(空载)		≤±2.0%(空载)		≤±2.0%(空载)		≤±2.0%(空载)
	洁净度	1000/100级(温度稳定时)		1000/100级(温度稳定时)		1000/100级(温度稳定时)		1000/100级(温度稳定时)
控制系统	显示尺寸	B系列：按键式温控器 T系列：触屏式温控器
	程序	B系列：可记忆程序16段 T系列：120个程序，每个程序99段；固化程序20个
	集中监控(选购)	B系列：可选购 T系列：支持
附属功能		B系列：故障报警、断电保护功能、上下限温度保护功能、定时功能(自动停止运行)。 T系列：故障报警及原因、处理提示功能、断电保护功能、上下限温度保护功能、定时功能(自动启动及自动停止运行)、自诊断功能。
USB功能		B系列：无 T系列：有
结构	外壳	冷轧钢板烤漆
	内箱	不锈钢SUS201
	隔热	耐高温硅酸铝棉
	加热	镍络丝不锈钢翅片式加热器
配电功率		RT~+200℃：3N 380V 2.5KW RT~+300℃：3N 380V 3.0KW		RT~+200℃：3N 380V 3.5KW RT~+300℃：3N 380V 4.0KW		RT~+200℃:3N 380V 4.5KW RT~+300℃:3N 380V 5.5KW		RT~+200℃:8.0KW RT~+300℃:10.5KW
选购功能		安全门锁，多点温度监控，自动风门，引线孔更改，尺寸定制