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加压除泡烘箱

IHPT 系列

所属分类:

服务热线:

  • 产品描述
  • 用于封胶后在两个 Die 的 FOW 之间的残留气泡进行脱泡,广泛适用于半导体、显示面板等行业。
     
    适用标准
    1.GB/T29251-2012真空干燥箱

     

    型号(示例)

    IHPT91+200W

    IHPT216+200W

    主要参数

    冷却方式 容积(升)

    水冷W

    水冷W

    280L

    900L

    温度范围

    RT+20℃

    ~+200℃

    空载升温时间

    RT~+200℃≤40min

    RT~+200°℃≤40min

    降温时间

    水冷:+175℃~+90℃≤28min

    水冷:+175℃~+90℃≤28min

    最低氧气浓度

    ≤20ppm

    洁净度

    1000/100级(温度稳定时)

    内箱尺寸(mm)

    φ450*D450mm

    φ600*D800mm

    外箱尺寸(mm

    W950*H1900*D1400mm

    W1100*H2100*D1700mm

    重量

    约500KG

    约680KG

    温度波动度

    ≤±2.0℃(at 0.7Mpa,空载)

    ≤±2.0℃(at 0.7Mpa,空载)

    温度偏差

    ≤±5.0℃

    ≤±5.0℃

    使用压力

    ≤0.85Mpa

    耐压

    ≥1.0Mpa

    水压测试

    ≥1.35Mpa

    氮气通入

    1路

    1路

    控制系统

    显示尺寸

    触屏式温控器

    程序

    120个程序,每个程序99段;固化程序20个

    集中监控(选购)

    支持,RS485/RJ45网络接口通讯

    附属功能

    故障报警及原因、处理提示功能、断电保护功能、上下限温度保护功能、定时功能(自动启动及自动停止运行)、

    自诊断功能。

    USB功能

    结构

    外壳

    冷轧钢板烤漆

    内箱

    不锈钢SUS304,圆筒形

    隔热

    承压方式

    硅酸铝棉填充

    内箱承压

    排气口

    NW25法兰

    NW25法兰

    配电功率

    RT~+200℃:3N 380V 7.5KW

     RT~+200℃:3N 380V 12.5KW

    冷却循环水

    1t/h

    2t/h

    选购功能

    多点温度监控,尺寸定制,真空泵

     

    扫码枪
    晶圆
    氧分仪

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