- 产品描述
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用于封胶后在两个 Die 的 FOW 之间的残留气泡进行脱泡,广泛适用于半导体、显示面板等行业。
型号(示例)
IHPT91+200W
IHPT216+200W
主要参数
冷却方式 容积(升)
水冷W
水冷W
280L
900L
温度范围
RT+20℃
~+200℃
空载升温时间
RT~+200℃≤40min
RT~+200°℃≤40min
降温时间
水冷:+175℃~+90℃≤28min
水冷:+175℃~+90℃≤28min
最低氧气浓度
≤20ppm
洁净度
1000/100级(温度稳定时)
内箱尺寸(mm)
φ450*D450mm
φ600*D800mm
外箱尺寸(mm
W950*H1900*D1400mm
W1100*H2100*D1700mm
重量
约500KG
约680KG
温度波动度
≤±2.0℃(at 0.7Mpa,空载)
≤±2.0℃(at 0.7Mpa,空载)
温度偏差
≤±5.0℃
≤±5.0℃
使用压力
≤0.85Mpa
耐压
≥1.0Mpa
水压测试
≥1.35Mpa
氮气通入
1路
1路
控制系统
显示尺寸
触屏式温控器
程序
120个程序,每个程序99段;固化程序20个
集中监控(选购)
支持,RS485/RJ45网络接口通讯
附属功能
故障报警及原因、处理提示功能、断电保护功能、上下限温度保护功能、定时功能(自动启动及自动停止运行)、
自诊断功能。
USB功能
有
结构
外壳
冷轧钢板烤漆
内箱
不锈钢SUS304,圆筒形
隔热
承压方式
硅酸铝棉填充
内箱承压
排气口
NW25法兰
NW25法兰
配电功率
RT~+200℃:3N 380V 7.5KW
RT~+200℃:3N 380V 12.5KW
冷却循环水
1t/h
2t/h
选购功能
多点温度监控,尺寸定制,真空泵
关键词:
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